[实用新型]一种真空镀膜设备拉爪专用夹具有效
| 申请号： | 201920045853.5 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN209669344U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李标章;黄裕祥 | 申请（专利权）人： | 广东耐信镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/32 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 胡辉<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 510663 广东省广州市黄埔区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备拉爪专用夹具，包括夹具体和驱动系统，夹具体的下端与驱动系统连接；夹具体包括立柱和若干第一连杆，各个第一连杆的端部设有工件悬挂位，若干连杆围绕夹具体均匀分布成一圈工位，夹具体在不同高度均设置有工位；驱动系统包括行星齿轮系统，行星齿轮系统连接夹具体的下端，并带动夹具体自转以及公转。由于物件也能够自转和公转，所以该专用夹具能够让物件充分地接触离子束；同时若干个第一连杆分布在周向和不同高度，能充分提高专用夹具的装载量。此实用新型用于镀膜工艺领域。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具体 驱动系统 专用夹具 行星齿轮系统 物件 自转 工位 下端 真空镀膜设备 本实用新型 镀膜工艺 工件悬挂 离子束 连接夹 装载量 拉爪 立柱 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜设备拉爪专用夹具，其特征在于：包括夹具体和驱动系统，夹具体的下端与驱动系统连接；/n夹具体包括立柱和若干第一连杆，各个第一连杆的端部设有工件悬挂位，若干连杆围绕夹具体均匀分布成一圈工位，夹具体在不同高度均设置有工位；/n驱动系统上设有行星齿轮系统，行星齿轮系统连接夹具体的下端，并带动夹具体自转以及公转。/n
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