[实用新型]一种真空镀膜设备样品台有效
| 申请号： | 201920051960.9 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN209493628U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 孙连仲 | 申请（专利权）人： | 沈阳美济真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备样品台，其结构包括台架，所述台架上设置有第一六角头螺栓、电动挡板装配架、固定杆和轴承磁耦合组件，所述第一六角头螺栓固定连接在所述台架的左端，所述电动挡板装配架固定连接在所述台架的上端，所述固定杆固定连接在所述台架的下端，所述轴承磁耦合组件活动连接在所述台架的左端，所述电动挡板装配架上设置有第二六角头螺栓，所述固定杆的下方设置有样品炉，所述样品炉的下方设置有样品转架。本实用新型通过轴承磁耦合组件的使用，舍弃了传统的磁耦合密封形式，避免了在旋转的过程中不稳定，容易造成转动不同步，旋转稳定性低的问题，具有结构简单、便于拆装、稳定性强、制造成本低和使用寿命长等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 台架 磁耦合组件 六角头螺栓 电动挡板 固定杆 装配架 轴承 真空镀膜设备 样品炉 左端 本实用新型 旋转稳定性 便于拆装 活动连接 密封形式 使用寿命 稳定性强 制造成本 传统的 磁耦合 样品台 上端 下端 转架 转动 舍弃 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜设备样品台，包括台架(1)，其特征在于：所述台架(1)上设置有第一六角头螺栓(2)、电动挡板装配架(3)、固定杆(4)和轴承磁耦合组件(5)，所述第一六角头螺栓(2)固定连接在所述台架(1)的左端，所述电动挡板装配架(3)固定连接在所述台架(1)的上端，所述固定杆(4)固定连接在所述台架(1)的下端，所述轴承磁耦合组件(5)活动连接在所述台架(1)的左端，所述电动挡板装配架(3)上设置有第二六角头螺栓(6)，所述固定杆(4)的下方设置有样品炉(7)，所述样品炉(7)的下方设置有样品转架(8)，所述样品转架(8)的下方设置有挡板(9)。
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