[实用新型]晶圆加工工艺中的传输装置

摘要

本实用新型涉及一种晶圆加工工艺中的传输装置，其目的是通过改进传输装置中对晶圆进行“取放”的功能结构，从而改变对晶圆、特别是超薄晶圆进行固定和移动的着力方式，达到减少晶圆、尤其是超薄晶圆在加工工艺过程中的破损率的问题。本实用新型的一种晶圆加工工艺中的传输装置，包括传输座和机械臂，所述传输座支撑和驱动所述机械臂移动，所述机械臂的末端安装有至少一个伯努利原理吸盘，所述机械臂利用所述伯努利原理吸盘将晶圆吸附固定和移动。相较于传统的机械夹取式传输和中央强力吸气式吸盘传输，本实用新型可减少因直接触碰造成的应力不均而导致晶圆碎裂、尤其适用于超薄晶圆，可降低生产加工中晶圆的损坏率。

主权项

1.一种晶圆加工工艺中的传输装置，其特征在于，包括：传输座和机械臂，所述传输座支撑和驱动所述机械臂移动，所述机械臂的末端安装有至少一个伯努利原理吸盘，所述机械臂利用所述伯努利原理吸盘将晶圆吸附固定和移动；所述伯努利原理吸盘包括一个吸盘本体和吸盘芯，所述吸盘本体包括上部的结合部和下部的扩盘部，在所述吸盘本体中央设有一个竖直延伸的通孔，所述通孔的上部内壁设有内螺纹，所述通孔的呈渐扩状，构成第一导气弧面；所述吸盘芯中间为空心管体，所述空心管体包括第一端、连接部和第二端，所述第一端设有进气口，所述连接部设有外螺纹，所述第二端为外扩形的封闭端；所述吸盘芯穿接在所述吸盘本体中间，借助外螺纹与内螺纹螺纹结合，所述第一端伸出所述通孔上方，所述第二端在所述通孔下方；其中，所述第二端与连接部之间以圆弧面连接，所述圆弧面构成第二导气弧面，在所述第二导气弧面上环向设有若干连通所述空心管体的出气孔，所述第一导气弧面与第二导气弧面形成排气缝，所述出气孔连通所述排气缝。