[实用新型]一种衰化卷对卷设备等离子强度的装置

摘要

本实用新型公开了一种衰化卷对卷设备等离子强度的装置，包括放卷舱、多孔石英锭、线圈、石英管、收卷舱、设备框架和射频控制仪，所述放卷舱设置在所述设备框架上端面一端，且所述收卷舱设置在所述设备框架上端面另一端。本实用新型的有益效果是：本实用新型中采用多孔石英锭来保证反应、保护气源的均匀进气，从而有效地阻碍等离子体偏放卷舱粒子运动，较好的缩短了等离子体的行程，另外通过多孔石英锭上的微孔营造阻碍等离子体行程，大大地提高等离子体有效碰撞来降低等离子体强度，从而减少等离子体进入放卷舱，降低刻蚀铜箔卷的外表面和卷边的端面的可能性，减弱等离子体对衬底表面的轰击，降低膜与衬底的内应力，提升成膜质量及效率。

主权项

1.一种衰化卷对卷设备等离子强度的装置，其特征在于：包括放卷舱(1)、多孔石英锭(2)、线圈(3)、石英管(4)、收卷舱(7)、设备框架(8)和射频控制仪(9)，所述放卷舱(1)设置在所述设备框架(8)上端面一端，且所述收卷舱(7)设置在所述设备框架(8)上端面另一端，所述放卷舱(1)一端水平连接有所述石英管(4)，所述石英管(4)与所述放卷舱(1)连接的一端套设有线圈(3)，且所述放卷舱(1)与线圈(3)之间中部设置有多孔石英锭(2)，所述设备框架(8)中部上方设置有加热炉胆(5)，且所述加热炉胆(5)一侧设置有触摸控制屏幕(6)，所述设备框架(8)中部设置有射频控制仪(9)。