[实用新型]在线式双通道微波功率传感器有效
| 申请号： | 201920061417.7 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN209486175U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李龙飞;胡加杨;王德波 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01R21/00 | 分类号： | G01R21/00;G01R27/02;G01R27/26 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 210033 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 在线式双通道微波功率传感器，包括衬底、地线、共面波导传输线、电容极板、敏感元件、悬臂梁；地线设置于衬底上表面两侧，共面波导传输线平行于两侧地线，设置在衬底上表面中部；敏感元件嵌入衬底中，并位于共面波导传输线的中部下方；敏感元件下方设有一层金属薄膜，其嵌入衬底中，并与共面波导传输线相平行；悬臂梁通过锚区设置在一侧地线上，悬于所述敏感元件上方；电容极板位于悬臂梁下方，并位于所述地线和共面波导传输线之间。该在线式双通道微波功率传感器采用MEMS平面加工工艺，具有体积小，集成度高等优点。此外利用电阻式传感器，可以极大地提高待测微波信号的功率范围，在微波信号较弱的时候通过电容式传感器，可以提高检测信号的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 共面波导传输线 地线 敏感元件 微波功率传感器 双通道 悬臂梁 在线式 衬底 衬底上表面 电容极板 嵌入 平行 待测微波信号 电容式传感器 电阻式传感器 波导传输线 检测信号 金属薄膜 平面加工 微波信号 集成度 体积小 锚区 | ||
【主权项】：
1.在线式双通道微波功率传感器，包括衬底、地线、共面波导传输线、电容极板、敏感元件、悬臂梁，其特征在于：所述地线设置于衬底上表面的两侧，所述共面波导传输线平行于两侧的地线，设置在衬底上表面中部；所述敏感元件嵌入衬底中，并位于共面波导传输线的中部下方；所述敏感元件下方设有一层金属薄膜，其嵌入衬底中，并与共面波导传输线相平行；所述悬臂梁通过锚区设置在一侧地线上，悬于所述敏感元件上方；所述电容极板位于悬臂梁下方，并位于所述地线和共面波导传输线之间。
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