[实用新型]一种自动上浆抛光机有效
| 申请号： | 201920064059.5 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN209119044U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 时琦 | 申请（专利权）人： | 高密飞仕龙达电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/56 | 分类号： | H01L21/56;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 孟雪 |
| 地址： | 261500 山东省潍坊市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动上浆抛光机，它属于上浆抛光装置技术领域，包括横杆，所述横杆上依次设有滴浆组件、匀浆组件和抛光组件，所述横杆下方设有第一轨道，所述第一轨道上设有可沿所述第一轨道滑动的抓取组件，所述滴浆组件和所述抛光组件的下方均设有载物台，所述匀浆组件和所述抛光组件之间设有烘烤组件；本实用新型通过滴浆组件将玻璃浆滴在硅片上，通过匀浆组件将硅片上的玻璃浆均匀的涂抹开，通过烘烤组件将玻璃浆烘干，通过抛光组件将玻璃表面的细屑清除，不需要人工操作，降低了生产成本，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光组件 玻璃浆 横杆 上浆 匀浆 本实用新型 烘烤组件 抛光机 硅片 轨道 玻璃表面 抛光装置 人工操作 生产效率 抓取组件 滑动 载物台 烘干 细屑 涂抹 生产成本 | ||
【主权项】：
1.一种自动上浆抛光机，其特征是，包括横杆，所述横杆上依次设有滴浆组件、匀浆组件和抛光组件，所述横杆下方设有第一轨道，所述第一轨道上设有可沿所述第一轨道滑动的抓取组件，所述滴浆组件和所述抛光组件的下方均设有载物台，所述匀浆组件和所述抛光组件之间设有烘烤组件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
