[实用新型]一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备有效
| 申请号： | 201920065629.2 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN209784395U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 王印玺;秦超;陶源 | 申请（专利权）人： | 江苏澳芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/04 |
| 代理公司： | 32286 南京常青藤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄胡生 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，包括设备箱，所述设备箱的内部包括取像区和电气区，所述取像区和所述电气区之间设有操作板，所述操作板顶面设有印制电路板区和两个Y轴取像座，两个所述Y轴取像座的顶部之间搭设有X轴取像座，所述X轴取像座底部的两端分别设有X轴驱动座，所述X轴取像座的一侧设有Z轴取像座，所述Z轴取像座的侧面与所述X轴取像座的顶部之间设有Z轴驱动座，所述X轴取像座、所述Y轴取像座以及所述Z轴取像座均配置有相机，所述相机内配置有电荷耦合器件图像传感器，本实用新型能够代替人工检测点位，能对印制电路板三维取像。 | ||
| 搜索关键词： | 取像 本实用新型 印制电路板 操作板 电气区 设备箱 相机 电荷耦合器件 图像传感器 晶圆检测 取像设备 人工检测 驱动座 探针卡 点位 顶面 飞针 配置 三维 侧面 制作 | ||
【主权项】：
1.一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，包括设备箱，所述设备箱的内部包括取像区和设于所述取像区下方的电气区，所述取像区和所述电气区之间设有操作板并通过所述操作板分隔；/n所述操作板顶面设有印制电路板区和两个互相平行的Y轴取像座，所述印制电路板区设于所述操作板的中部，两个所述Y轴取像座分别设于所述印制电路板区的两侧，两个所述Y轴取像座的顶部之间搭设有X轴取像座，所述X轴取像座底部的两端分别设有X轴驱动座，所述X轴驱动座的底部与所述Y轴取像座的顶部滑动连接，所述X轴取像座的一侧设有Z轴取像座，所述Z轴取像座的侧面与所述X轴取像座的顶部之间设有Z轴驱动座，所述Z轴驱动座的底部与所述X轴取像座的顶部滑动连接，所述Z轴驱动座的侧面与所述Z轴取像座的侧面滑动连接；/n所述X轴取像座、所述Y轴取像座以及所述Z轴取像座均配置有相机，所述相机内配置有电荷耦合器件图像传感器。/n
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