[实用新型]一种电子束扫描测量仪的交换手臂

摘要

一种电子束扫描测量仪的交换手臂，解决了电子束扫描测量仪设备固有的交换手臂只能用于8英寸的晶片移动，对于其他较小尺寸并不适用，而且移动过程中存在晶片滑动的问题，其包括手臂根部、螺栓孔、连接臂、凹槽和手臂端部，所述手臂根部上四个拐角位置处开设有螺栓孔，手臂根部的一侧焊接固定有连接臂，连接臂的一侧焊接固定有手臂端部，手臂端部上等距离开设有凹槽，所述凹槽的内部卡接固定有防滑胶垫，所述凹槽的底部开设有贯穿手臂端部背部的通气孔。本实用新型结构新颖，构思巧妙，使用方便、成本低、结构简单、移送晶片时不移位，提高了检测效率，适用于多个尺寸晶片。

主权项

1.一种电子束扫描测量仪的交换手臂，包括手臂根部(1)、螺栓孔(2)、连接臂(3)、凹槽(4)和手臂端部(5)，其特征在于，所述手臂根部(1)上四个拐角位置处开设有螺栓孔(2)，手臂根部(1)的一侧焊接固定有连接臂(3)，连接臂(3)的一侧焊接固定有手臂端部(5)，手臂端部(5)上等距离开设有凹槽(4)，所述凹槽(4)的内部卡接固定有防滑胶垫(6)，所述凹槽(4)的底部开设有贯穿手臂端部(5)背部的通气孔(7)。