[实用新型]一种24源连续有机材料蒸镀装备

摘要

本实用新型公开一种24源连续有机材料蒸镀装备，包括设备框架，所述设备框架的上端安装有真空舱与触控电脑，且触控电脑位于真空舱一侧边缘位置，所述设备框架的前端安装有分子泵控制器，所述真空舱两侧对称安装有分子泵，所述真空舱的内部底端安装有挡板与电极，所述电极位于挡板的底端两侧，所述挡板上开设有蒸镀源选择孔，所述挡板的底端中间位置连接有一号电机，且一号电机位于设备框架内，所述挡板的正上方安装有上基板；本实用新型一种24源连续有机材料蒸镀装备能够均匀接受来自不同蒸镀钼舟蒸发上来的分子或原子，并通过有机薄膜的厚度变化趋势以及均匀性来调整蒸镀钼舟的加热温度及加热时间，从而得到目标成分、厚度的有机镀膜。

主权项

1.一种24源连续有机材料蒸镀装备，其特征在于，包括设备框架(21)，所述设备框架(21)的上端安装有真空舱(16)与触控电脑(11)，且触控电脑(11)位于真空舱(16)一侧边缘位置，所述设备框架(21)的前端安装有分子泵控制器(12)，所述真空舱(16)两侧对称安装有分子泵(10)，所述真空舱(16)的内部底端安装有挡板(3)与电极(2)，所述电极(2)位于挡板(3)的底端两侧，所述挡板(3)上开设有蒸镀源选择孔(4)，所述挡板(3)的底端中间位置连接有一号电机(1)，且一号电机(1)位于设备框架(21)内，所述挡板(3)的正上方安装有上基板(5)，贯穿真空舱(16)顶部左侧位置连接有膜厚仪探头(6)，且膜厚仪探头(6)伸入至上基板(5)表面，贯穿所述真空舱(16)顶部右侧位置安装有真空规(8)，所述分子泵(10)上安装有插板阀(9)，两组所述插板阀(9)关于真空舱(16)对称设置；所述真空舱(16)后端上安装有活动后舱门(13)，所述真空舱(16)前端上活动安装有前舱门(17)，所述真空舱(16)内部中间位置分布有蒸镀源(15)，所述真空舱(16)一侧开设有备用接口(14)。