[实用新型]一种等离子体增强碳纳米管生长设备

摘要

本实用新型公开了一种等离子体增强碳纳米管生长设备包括射频控制仪、进气口、线圈、预热炉、加热炉、触摸控制屏幕、抽气口、滑轨、设备框架和射频电源，所述设备框架的顶部台面上通过两支座固定有石英管，所述石英管的一端与真空法兰连接，真空法兰上设置有进气口，且石英管依次贯穿射频电源、预热炉和加热炉，所述射频电源、预热炉和加热炉均设置在设备框架顶部，所述石英管的另一端与真空法兰连接，真空法兰上设置有抽气口，所述设备框架顶部台面上水平设置有滑轨，预热炉放置在滑轨上滑动，所述设备框架的顶部台面上固定安装有触摸控制屏幕，该实用新型，使得Fe成分恒定，直径可控，能够较好地控制碳纳米管的生长质量。

主权项

1.一种等离子体增强碳纳米管生长设备，其特征在于，包括射频控制仪(1)、进气口(2)、线圈(3)、预热炉(4)、加热炉(5)、石英管(6)、触摸控制屏幕(7)、抽气口(8)、滑轨(9)、丝杆(10)、电机(11)、气体控制单元(12)、设备框架(13)和射频电源(14)，所述设备框架(13)的顶部台面上通过两支座固定有石英管(6)，所述石英管(6)的一端与真空法兰连接，真空法兰上设置有进气口(2)，且石英管(6)依次贯穿射频电源(14)、预热炉(4)和加热炉(5)，所述射频电源(14)、预热炉(4)和加热炉(5)均设置在设备框架(13)顶部，所述石英管(6)的另一端与真空法兰连接，真空法兰上设置有抽气口(8)，所述设备框架(13)顶部台面上水平设置有滑轨(9)，预热炉(4)放置在滑轨(9)上滑动，所述设备框架(13)的顶部台面上固定安装有触摸控制屏幕(7)，所述设备框架(13)的内部安装有电机(11)，所述电机(11)驱动设备框架(13)顶部台面上设置的丝杆(10)转动，所述丝杆(10)驱动加热炉(5)移动；所述设备框架(13)的内部安装有射频控制仪(1)和气体控制单元(12)。