[实用新型]一种射频等离子刻蚀用硅片固定装置

摘要

本实用新型公开了一种射频等离子刻蚀用硅片固定装置，涉及硅片加工设备技术领域，包括伸缩套筒、伸缩杆、转体、压紧部、承载台。伸缩套筒具有伸缩空间。伸缩杆具有齿条，齿条设置在伸缩空间中。转体具有齿轮，齿轮啮合齿条，齿条位于齿轮的相对位置。本实用新型采用手动转动转体以达到控制伸缩杆同步伸缩，避免了采用液缸、气缸、电缸等自动化设备因各种因素(详情请参照背景技术)造成伸缩杆相对移动的距离就存在不可控，需要反复尝试驱动伸缩杆相对的距离达到适应各种规格硅片。之后将硅片放入到承载台上，再用压紧部对硅片进行固定。

主权项

1.一种射频等离子刻蚀用硅片固定装置，其中，包括：伸缩套筒，所述伸缩套筒具有伸缩空间；伸缩杆，所述伸缩杆具有齿条，所述齿条设置在所述伸缩空间中；转体，所述转体具有齿轮，所述齿轮啮合所述齿条，所述齿条位于所述齿轮的相对位置；推送装置；固定部，所述固定部一端连接所述推送装置，所述固定部另一端连接所述伸缩杆；施力部，所述推送装置连接所述施力部的一端；装夹部，所述施力部的另一端驱动所述装夹部进行运动；压紧部，所述压紧部连接所述装夹部；承载台，所述承载台连接所述伸缩杆，所述承载台位于所述压紧部相对位置。