[实用新型]原位电化学反应观测芯片有效
| 申请号： | 201920090064.3 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN209416966U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 张跃钢;赵美珍;周莉莎;李洪飞 | 申请（专利权）人： | 南通盟维芯片科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26;G01N23/22 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王茹;王锋 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市崇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种原位电化学反应观测芯片及其应用。原位电化学反应观测芯片包括基底以及设置于基底上表面的第一电极和第二电极，第一电极具有开口部，至少所述第二电极的一端部设于所述开口部内，且所述第二电极与第一电极之间无直接接触，至少在设置于第一电极开口部内的第二电极具有一个以上贯穿所述第二电极的观测窗口，所述观测窗口还向下连续贯穿所述基底的上表面和下表面，以及，在所述观测窗口上覆盖有具有微通孔的薄膜。本实用新型采用性质独特的低应力氮化硅薄膜覆盖原来镂空的观测窗口，并在观测窗口上方的氮化硅薄膜上制作了微米级和/或纳米级的通孔阵列，这一改进使得芯片在实际使用中具有了更大的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 第二电极 观测窗口 第一电极 原位电化学 开口部 芯片 本实用新型 观测 基底 低应力氮化硅薄膜 氮化硅薄膜 基底上表面 通孔阵列 镂空 纳米级 上表面 微米级 微通孔 下表面 贯穿 覆盖 薄膜 制作 应用 改进 | ||
【主权项】：
1.一种原位电化学反应观测芯片，包括基底以及设置于基底上表面的第一电极和第二电极，所述第一电极具有开口部，至少所述第二电极的一端部设于所述开口部内，且所述第二电极与第一电极之间无直接接触，其特征在于：至少在设置于第一电极开口部内的第二电极具有一个以上贯穿所述第二电极的观测窗口，所述观测窗口还向下连续贯穿所述基底的上表面和下表面，以及，在所述观测窗口上覆盖有具有微通孔的薄膜。
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