[实用新型]一种大型真空镀膜连续线腔体有效
| 申请号： | 201920091687.2 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN209669345U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 熊凯;杨元才;褚景豫;王慧峰;钱鹏亮 | 申请（专利权）人： | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201821 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大型真空镀膜连续线腔体，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀膜室；第二缓冲室；在进样室的一端设置第一阀门；在进样室的另一端与中间阀门的一端进行连接；中间阀门的中间设置密封阀板；在中间阀门的另一端连接第一缓冲室的一端，在第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；镀膜室的另一端连接第二缓冲室的一端，第二缓冲室设置第二阀门；在本实用新型中的技术效果在于，大型真空镀膜连续线腔体能够被应用于真空镀膜连续生产，满足真空镀膜连续生产对于镀膜腔体的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲室 阀门 真空镀膜 一端连接 镀膜室 进样室 本实用新型 连续线 腔体 镀膜腔体 技术效果 密封阀板 一端设置 中间设置 应用 | ||
【主权项】：
1.一种大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀膜室；第二缓冲室；在所述的进样室的一端设置第一阀门；在所述的进样室的另一端与中间阀门的一端进行连接；所述的中间阀门的中间设置密封阀板；在所述的中间阀门的另一端连接第一缓冲室的一端，在所述的第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；所述的镀膜室的另一端连接第二缓冲室的一端。/n
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