[实用新型]一种工具镀膜腔体有效
| 申请号： | 201920091961.6 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN209669338U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 熊凯;杨元才;褚景豫;钱鹏亮;王慧峰 | 申请（专利权）人： | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201821 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种工具镀膜腔体，其特征在于，包括镀膜腔体、底架、视窗接口、小弧源接口、主抽口、门上旋转多弧接口、腔体门；底架上设置镀膜腔体；在镀膜腔体的正面上设置若干个小弧源接口；小弧源接口呈若干排；小弧源接口列与列之间呈品字形排列；在小弧源接口之间设置视窗接口；在镀膜腔体的一侧设置若干个主抽口；在镀膜腔体的反面设置腔体门；在腔体门的下方设置若干个门上旋转多弧接口；在腔体门上同样设置若干个视窗接口；本实用新型的技术效果在于，利用在镀膜腔体上结构上的改变；改变了现有技术中镀膜有效区过窄的技术问题，提升了镀膜的效率，提升了镀膜产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜腔体 源接口 小弧 腔体门 视窗 本实用新型 抽口 底架 镀膜 品字形排列 镀膜产品 反面设置 技术效果 有效区 腔体 | ||
【主权项】：
1.一种工具镀膜腔体，其特征在于，包括镀膜腔体、底架、视窗接口、小弧源接口、主抽口、门上旋转多弧接口、腔体门；所述的底架上设置镀膜腔体；在所述的镀膜腔体的正面上设置若干个小弧源接口；所述的小弧源接口呈若干排；所述的小弧源接口列与列之间呈品字形排列；在所述的小弧源接口之间设置视窗接口；在所述的镀膜腔体的一侧设置若干个主抽口；在所述的镀膜腔体的反面设置腔体门；在所述的腔体门的下方设置若干个门上旋转多弧接口；在所述的腔体门上同样设置若干个视窗接口。/n
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