[实用新型]一种多功能wafer载盘有效
| 申请号： | 201920104229.8 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN209465356U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 郭祖福 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/04 | 分类号： | B07C5/04;B07C5/02;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 郑隽;吴婷 |
| 地址： | 423038 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种多功能wafer载盘，包括：载盘固定主体、内载盘、工件固定机构；所述载盘固定主体的整体外观呈六棱柱状，且内载盘嵌入安装在载盘固定主体上，内载盘与载盘固定主体通过螺丝相连接；所述工件固定机构设置在载盘固定主体及内载盘的上方，且工件固定机构由固定锁板、磁体固定铁条、活动栓、磁铁、固定铁板组成；所述固定锁板位于载盘固定主体及内载盘的上方；本实用新型通过对多功能wafer载盘的改进，具有结构设计合理，操作方便，效率高，能够适用于不同尺寸晶元的固定，对不同尺寸晶元固定时无需更换载盘，减少资金投入，降低成本，实用性强的优点，从而有效的解决了现有装置中出现问题和不足。 | ||
| 搜索关键词： | 载盘 固定主体 工件固定机构 本实用新型 固定锁板 晶元 固定铁板 固定铁条 六棱柱状 嵌入安装 现有装置 整体外观 活动栓 磁铁 螺丝 改进 资金 | ||
【主权项】：
1.一种多功能wafer载盘，包括：载盘固定主体(1)、内载盘(2)、工件固定机构(3)、固定锁板(301)、磁体固定铁条(302)、活动栓(303)、磁铁(304)、固定铁板(305)；其特征在于：所述载盘固定主体(1)的整体外观呈六棱柱状，且内载盘(2)嵌入安装在载盘固定主体(1)上，内载盘(2)与载盘固定主体(1)通过螺丝相连接；所述工件固定机构(3)设置在载盘固定主体(1)及内载盘(2)的上方，且工件固定机构(3)由固定锁板(301)、磁体固定铁条(302)、活动栓(303)、磁铁(304)、固定铁板(305)组成；所述固定锁板(301)位于载盘固定主体(1)及内载盘(2)的上方，且固定锁板(301)与载盘固定主体(1)、内载盘(2)为一体式结构；所述磁体固定铁条(302)安装在固定锁板(301)的一侧；所述活动栓(303)的一端嵌入安装在磁体固定铁条(302)的后端，且活动栓(303)的另一端贯穿固定锁板(301)，固定锁板(301)与活动栓(303)通过套入方式活动连接；所述固定铁板(305)通过螺钉安装在磁体固定铁条(302)的上方；所述磁铁(304)安装在固定铁板(305)的两侧，且磁铁(304)与磁体固定铁条(302)通过磁性吸合。
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