[实用新型]一种热电偶出炉密封结构有效
申请号: | 201920106187.1 | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN209605961U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 邵忠;周伟 | 申请(专利权)人: | 上海康碳复合材料科技有限公司;福建康碳复合材料科技有限公司 |
主分类号: | G01K7/04 | 分类号: | G01K7/04;G01K1/10 |
代理公司: | 上海市海华永泰律师事务所 31302 | 代理人: | 包文超 |
地址: | 201814 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开一种热电偶出炉密封结构,热电偶为若干个,每个热电偶丝外部套有氧化铝两孔绝缘管,氧化铝两孔绝缘管外部套有氧化铝保护套管,且分成两部分,一部分在高温化学气相沉积炉内,一部分在高温化学气相沉积炉外,中间通过热电偶丝出炉金属连接件连接,热电偶丝出炉连接件的外部嵌套一硅胶套件,硅胶套件内表面与热电偶丝出炉金属连接件接触,外表面与一带有阶梯圆槽孔的金属圆板接触并压紧。本实用新型可以很好的保证绝缘性和炉体在热电偶出炉处的密封性。 | ||
搜索关键词: | 出炉 热电偶丝 热电偶 本实用新型 金属连接件 气相沉积炉 高温化学 密封结构 硅胶套 绝缘管 氧化铝 外部 嵌套 氧化铝保护 金属圆板 绝缘性 连接件 密封性 内表面 圆槽孔 炉体 套管 压紧 保证 | ||
【主权项】:
1.一种热电偶出炉密封结构,其特征在于:所述热电偶为若干个,每个热电偶丝外部套有氧化铝两孔绝缘管,所述氧化铝两孔绝缘管外部套有氧化铝保护套管,且分成两部分,一部分在高温化学气相沉积炉内,一部分在高温化学气相沉积炉外,中间通过热电偶丝出炉金属连接件连接,所述热电偶丝出炉连接件的外部嵌套一硅胶套件,所述硅胶套件内表面与所述热电偶丝出炉金属连接件接触,外表面与一带有阶梯圆槽孔的金属圆板接触并压紧。
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