[实用新型]一种矽晶片冷却晾干装置有效
申请号: | 201920112618.5 | 申请日: | 2019-01-23 |
公开(公告)号: | CN209515613U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 孙奇志 | 申请(专利权)人: | 佛山市南海益晶科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;H01L31/18 |
代理公司: | 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 42241 | 代理人: | 张伶俐 |
地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种矽晶片冷却晾干装置,包括车体,所述车体的上端设有凹槽,所述凹槽内的底部可拆卸连接有支撑板,所述支撑板的上端固定有承载板,所述承载板的上端固定有四个竖杆,同一侧的两个竖杆为一组,同一组内的两个竖杆的一侧共同等间距固定有多个横杆,且同一组内的两个竖杆的上端共同固定有横板,同一组内的两个竖杆的一侧共同可拆卸连接有固定板,其中一个固定板的一侧贯穿设有摇把。本实用新型解决了不方便移动的问题,同时也解决了无法调节晾晒角度的问题,实现了能同时晾晒多个矽晶片的功能,提高了晾晒效率,能对矽晶片彻底晾干,避免了矽晶片晾晒不彻底影响使用的情况发生,使用方便,实用性强。 | ||
搜索关键词: | 矽晶片 竖杆 晾晒 本实用新型 可拆卸连接 晾干装置 上端固定 上端 承载板 固定板 支撑板 车体 冷却 等间距固定 方便移动 晾干 横杆 横板 摇把 贯穿 | ||
【主权项】:
1.一种矽晶片冷却晾干装置,包括车体(7),其特征在于:所述车体(7)的上端设有凹槽(17),所述凹槽(17)内的底部可拆卸连接有支撑板(11),所述支撑板(11)的上端固定有承载板(15),所述承载板(15)的上端固定有四个竖杆(6),同一侧的两个竖杆(6)为一组,同一组内的两个竖杆(6)的一侧共同等间距固定有多个横杆(10),且同一组内的两个竖杆(6)的上端共同固定有横板(1),同一组内的两个竖杆(6)的一侧共同可拆卸连接有固定板(12),其中一个固定板(12)的一侧贯穿设有摇把(13),所述摇把(13)的一端固定有转动辊(14),所述转动辊(14)的一端固定有转动杆,所述转动杆的一端转动连接在另一个固定板(12)的一侧,所述转动辊(14)上等间距固定有多个连接杆(4),所述连接杆(4)的一端固定有放置板(3),所述放置板(3)的一侧设有豁口,所述豁口内的三个侧壁上均设有限位槽(5)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造