[实用新型]一种晶振头随转膜厚自动监控系统有效
| 申请号： | 201920114533.0 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN209989460U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 吴一;彭绍群;王金林 | 申请（专利权）人： | 深圳市南方创新真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坂田街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶振头随转膜厚自动监控系统，涉及膜厚自动监控系统技术领域，包括真空室，所述真空室的一侧设置有PLC控制器，且真空室的一侧位于PLC控制器的旁边位置处设置有触摸屏，所述真空室的上方位于中心位置处设置有导电滑环。本实用新型设计新颖，结构简单，使用方便，具有较高的稳定性，通过PLC控制器控制驱动组件带动晶振探头转动，从而对基片的膜厚进行检测，检测信号由输出导线传输给晶振膜厚仪进行运算得出膜厚数值，同时将数值传递给PLC控制器的显示端，解决了传统无线输出控制方法的不稳定性因素，使得基片膜厚检测工作更加稳定，提高了工作效率，且无需人员干预，增加了实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室 膜厚 自动监控系统 本实用新型 晶振 控制驱动组件 中心位置处 不稳定性 导电滑环 工作效率 检测信号 输出导线 输出控制 数值传递 触摸屏 基片膜 膜厚仪 位置处 显示端 检测 探头 振头 种晶 转膜 运算 转动 传输 干预 | ||
【主权项】：
1.一种晶振头随转膜厚自动监控系统，包括真空室（1），其特征在于，所述真空室（1）的一侧设置有PLC控制器（3），且真空室（1）的一侧位于PLC控制器（3）的旁边位置处设置有触摸屏（4），所述真空室（1）的上方位于中心位置处设置有导电滑环（13），且真空室（1）的底部安装有驱动组件A（10），所述真空室（1）的内部底端转动连接有固定齿轮盘（8），且真空室（1）的内部底端位于固定齿轮盘（8）的外圈位置处转动连接有与其相啮合的做行星转动的从动小齿轮（9），所述固定齿轮盘（8）的上方设置有可转动的公转盘（7），且固定齿轮盘（8）上方相对应从动小齿轮（9）的位置处转动连接有与其相固定的自转挂具（2），所述导电滑环（13）的内部设置有垂直向下延伸至真空室（1）内部的晶振线引入轴（5），且导电滑环（13）的上部安装有晶振膜厚仪（12），所述晶振线引入轴（5）的一侧通过连杆连接有晶振探头（11），且晶振线引入轴（5）的下部通过三节万向接头（6）与真空室（1）底部的旋转驱动组件A（10）相连接。/n
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