[实用新型]一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具有效
| 申请号： | 201920117126.5 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209778981U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 王英剑;杨志民 | 申请（专利权）人： | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 11548 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，包括对夹式夹具底座、对夹式夹具顶盖和滤光片固定架，所述对夹式夹具底座的表面上开设有滤光片固定架安装槽，所述滤光片固定架安装槽的内部开设有滤光片安装槽，所述滤光片固定架安装槽的表面上设置有两个滤光片固定架定位凸出，两个所述滤光片固定架定位凸出对称设置，所述滤光片固定架正面的表面上环形分布有滤水槽，所述滤光片固定架上开设有与滤光片固定架定位凸出相配合的两个定位豁口，本实用新型当第一面镀膜完成后无需拆卸即可直接进行超声波清洗，之后镀制第二面镀膜，可以有效的提高3D窄带滤光片的镀膜效率，有利于提高企业生产效益。 | ||
| 搜索关键词： | 滤光片固定架 安装槽 对夹式 凸出 夹具 本实用新型 窄带滤光片 夹具底座 镀膜 超声波清洗 定位豁口 镀膜效率 对称设置 环形分布 溅射镀膜 企业生产 顶盖 第二面 滤光片 滤水槽 拆卸 镀制 配合 | ||
【主权项】：
1.一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，包括对夹式夹具底座（1）、对夹式夹具顶盖（2）和滤光片固定架（3），其特征在于：所述对夹式夹具底座（1）的表面上开设有滤光片固定架安装槽（4），所述滤光片固定架安装槽（4）的内部开设有滤光片安装槽（15），所述滤光片固定架安装槽（4）的表面上设置有两个滤光片固定架定位凸出（6），两个所述滤光片固定架定位凸出（6）对称设置，所述滤光片固定架（3）正面的表面上环形分布有滤水槽（13），所述滤光片固定架（3）上开设有与滤光片固定架定位凸出（6）相配合的两个定位豁口（10），所述滤光片固定架（3）正面的表面上设置有两个对夹式夹具顶盖定位凸出（5），且两个对夹式夹具顶盖定位凸出（5）对称设置，所述滤光片固定架（3）的背面安装有十字固定架（11），所述滤光片固定架（3）的边缘位置开设有两个对称设置的第一配合槽（9），所述对夹式夹具顶盖（2）的边缘位置开设有与两个第一配合槽（9）相配合的第二配合槽（8），所述对夹式夹具顶盖（2）的表面上开设有与对夹式夹具顶盖定位凸出（5）相配合的定位通孔（7）。/n
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