[实用新型]一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器，用于设置在单晶炉炉体内石英坩埚的上方，包括可提升复合式水冷换热器，所述可提升复合式水冷换热器包括内筒、外筒和提升机构，所述内筒内具有冷却水循环通道，且所述内筒的内壁上具有增加冷却水循环通道换热效率的高效换热层，所述内筒的顶端焊接两个提升臂，所述外筒的顶端通过铰链与所述提升臂铰接，所述提升臂的上部与所述提升机构连接。本实用新型所公开的一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器比常规水冷套更靠近液面，加大晶体的纵向温度梯度，提升机构的设置可以使可提升式复合式水冷换热器上升或下降，满足拉晶过程中相对液面位置的调节。

主权项

1.一种单晶炉用可提升复合式水冷换热器，用于设置在单晶炉炉体内石英坩埚的上方，其特征在于，包括可提升复合式水冷换热器，所述可提升复合式水冷换热器包括内筒、设置在所述内筒外部的外筒和设置在所述单晶炉的炉盖上且将所述内筒和外筒提升或下降的提升机构；所述内筒和外筒均呈倒置中空的圆台状；所述内筒的轴线与所述外筒的轴线重合；所述内筒内具有冷却水循环通道，所述冷却水循环通道内循环有冷却水，且所述内筒的内壁上具有增加所述冷却水循环通道换热效率的高效换热层；所述外筒包括保温部分和屏蔽部分，所述保温部分为多层结构，且每层均为保温材料制成；所述屏蔽部分包裹在所述保温部分外部，且所述屏蔽部分包括至少两层，且每层均为石墨或碳碳复合材料制成；所述内筒的顶端焊接两个提升臂，且两个所述提升臂围绕所述内筒的轴线均匀分布；所述外筒的顶端通过铰链与所述提升臂铰接；所述单晶炉的炉盖在所述提升臂所对应处设置有提升通孔，且所述提升机构设置在所述提升通孔处，所述提升臂的上部穿过所述提升通孔与所述提升机构连接。