[实用新型]一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头

摘要

本实用新型涉及微型工件表面特征设备技术领域，具体涉及一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头；通过设计有“H”型柔顺机构和压电驱动系统，可以调节的测头系统刚度；通过控制压电驱动装置的工作状态，实现测头系统的刚度调节，可以达到测头系统的各项同性刚度；位移传感器对称分布，测头的刚度特性、结构稳定性和解耦性好。

主权项

1.一种十字交叉压缩悬臂梁的变刚度微纳测头，其特征在于，基座、“H”型柔顺机构基座、压电驱动装置基座、压电驱动装置、“H”型柔顺机构、位移传感器、弹性梁、支撑梁、测头、测杆、中心体及螺栓和定位结构；所述基座四周均匀开有四个通孔Ⅰ，螺栓Ⅰ穿过通孔Ⅰ与三坐标位移机连接；压电驱动装置基座的四个基座相互成90度夹角分布在基座上面，用胶水连接；压电驱动装置基座表面开有定位槽，用于压电驱动装置的定位，压电驱动装置安放在放在定位槽上面，用胶水连接；“H”型柔顺机构基座的四个底座也是均匀分布在基座上面，此基座上面开有螺纹孔，此基座也是通过胶水与预先留在基座上的定位孔通过胶水连接；位移传感器共四个，均匀分布在基座表面，也是与预先留号的定位孔通过胶水连接；“H”型柔顺机构那放在“H”型柔顺机构基座上方，“H”型柔顺机构的四周开有通孔Ⅱ，螺纹孔与通孔Ⅱ同心配合，螺栓Ⅱ穿过孔与“H”型柔顺机构基座连接，“H”型柔顺机构的外表面与压电驱动装置相互接触，“H”型柔顺机构的内侧的加强横梁部分有定位孔；中心体四周各有四个定位孔，支撑梁连接在定位孔和中心体上的孔之间，支撑梁通过胶水与两处的定位孔连接，四个支撑梁均为这种连接方法；弹性梁与中心体上表面通过胶水连接，因为中心体的外圈轮廓正好与弹性梁的十字交叉处内切，因此定位精度可以达到，连接还是通过胶水连接；弹性梁与位移传感器之间存在1mm到3mm左右的间隙；测杆与中心体通过胶水连接，测头与测杆的连接也是胶水。