[实用新型]一种全光谱薄膜厚度测量仪

摘要

本实用新型公开了一种全光谱薄膜厚度测量仪，包括检测平台和检测系统，检测平台和检测系统之间通过Y型光纤和db9数据线进行连接，检测系统包括全光谱光谱仪、二维平台控制板、氘卤组合灯电源模块、风扇、步进电机驱动器和氘卤组合灯；氘卤组合灯电源模块位于全光谱光谱仪右侧；二维平台控制板和氘卤组合灯设置在氘卤组合灯电源模块和全光谱光谱仪之间，且氘卤组合灯位于二维平台控制板前侧；步进电机驱动器位于氘卤组合灯前侧；风扇位于步进电机驱动器前侧。本实用新型使用了氘卤组合灯为检测光源，这样光谱范围越宽测量的精度越高，结果会越准确；通过步进电机控制二维平台，使其可以在薄膜的不同位置进行连续测量，并以均值作为薄膜厚度测量的结果，测量结果准确。

主权项

1.一种全光谱薄膜厚度测量仪，其特征在于，包括检测平台、以及与检测平台相连接的检测系统，其中：检测平台包括支撑底座、二维平台、膜厚探头的支撑架和膜厚探头；所述二维平台通过支撑柱固定设置在支撑底座上，膜厚探头的支撑架设置在支撑底座上，且位于二维平台后侧；膜厚探头固定设置膜厚探头的支撑架上；检测系统与检测平台之间通过光纤和数据线连接，该检测系统包括全光谱光谱仪、二维平台控制板、氘卤组合灯电源模块、风扇、步进电机驱动器和氘卤组合灯；所述氘卤组合灯电源模块位于全光谱光谱仪右侧；二维平台控制板和氘卤组合灯设置在氘卤组合灯电源模块和全光谱光谱仪之间，且氘卤组合灯位于二维平台控制板前侧；所述步进电机驱动器位于氘卤组合灯前侧；风扇位于步进电机驱动器前侧。