[实用新型]一种小尺寸掩膜版居中性测量检查装置有效
| 申请号： | 201920125558.0 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209215869U | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 林伟;刘玉闯 | 申请（专利权）人： | 成都路维光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 胡晓丽 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了小尺寸掩膜版居中性测量检查装置，包括设于光刻机平台上的定位件和三组传感器，所述定位件上设有L型直角卡槽与掩膜版的直角边适配接触，其中一组传感器用于测量掩膜版的直角顶点位置信息，另外两组传感器分别用于测量掩膜版在沿L型直角卡槽的两条直角边延伸方向上的移动位置信息。本实用新型适用于掩膜版制作技术领域，尤其涉及大尺寸光刻机制作小尺寸掩膜版上，扩大大尺寸光刻机的应用范围，在大尺寸光刻机上设计一种小板居中性检查装置，检查小尺寸掩膜版的位置和居中性，有效避免居中性偏移现象。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 检查装置 测量 本实用新型 组传感器 定位件 光刻机 直角边 光刻 卡槽 移动位置信息 偏移现象 直角顶点 传感器 两组 适配 小板 延伸 应用 制作 检查 | ||
【主权项】：
1.小尺寸掩膜版居中性测量检查装置，其特征在于，包括设于光刻机平台(1)上的定位件(2)和三组传感器(3)，所述定位件(2)上设有L型直角卡槽与掩膜版(4)的直角边适配接触，其中一组传感器(3)用于测量掩膜版(4)的直角顶点位置信息，另外两组传感器(3)分别用于测量掩膜版(4)在沿L型直角卡槽的两条直角边延伸方向上的移动位置信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都路维光电有限公司，未经成都路维光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920125558.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种整体式显影槽
- 下一篇：一种挡板可拆卸式复印机
