[实用新型]一种真空装置有效
申请号: | 201920127074.X | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN209389060U | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 杨娅;刘丽梅;曾繁春 | 申请(专利权)人: | 深圳连硕自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48 |
代理公司: | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人: | 罗志伟 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种真空装置,包括支架,所述支架上从下至上依次设有下腔体、平台和上腔体,所述下腔体与所述平台底端形成第一腔室,所述平台上端与所述上腔体形成第二腔室,所述第一腔室设有第一通孔,所述第一通孔处设有第一管道,所述第二腔室设有第二通孔,所述第二通孔处设有T型管道,所述T型管道的水平管一端与所述第二通孔连通,所述水平管的另一端设有第二管道,所述T型管道的垂直管与所述第一管道另一端连通,所述第二管道的另一端设有真空泵。实施本实用新型的真空装置,具有以下有益效果:能够使得第一腔室与第二腔室达到等压的目的,结构简单,提高了产品的合格率,降低了生产所需成本。 | ||
搜索关键词: | 通孔 第二腔室 第一腔室 真空装置 本实用新型 第二管道 第一管道 上腔体 水平管 下腔体 支架 连通 等压 垂直管 真空泵 上端 底端 合格率 生产 | ||
【主权项】:
1.一种真空装置,其特征在于:包括支架,所述支架上从下至上依次设有下腔体、平台和上腔体,所述下腔体与所述平台底端形成第一腔室,所述平台上端与所述上腔体形成第二腔室,所述第一腔室设有第一通孔,所述第一通孔处设有第一管道,所述第二腔室设有第二通孔,所述第二通孔处设有T型管道,所述T型管道的水平管一端与所述第二通孔连通,所述水平管的另一端设有第二管道,所述T型管道的垂直管与所述第一管道另一端连通,所述第二管道的另一端设有真空泵。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳连硕自动化科技有限公司,未经深圳连硕自动化科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920127074.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种半导体器件及其封装基板
- 下一篇:一种白光发光二极管