[实用新型]真空室气体引入系统有效
| 申请号： | 201920129470.6 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN209672062U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 邓曾红 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D5/02 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莹;吴欢燕<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空室气体引入技术领域，公开了一种真空室气体引入系统，包括真空室侧壁、封盖和转接机构，所述转接机构包括转接本体，所述转接本体内部设有变向通道，所述变向通道的第一端口与所述真空室侧壁密封连接，所述变向通道的第二端口与所述封盖的内侧壁密封连接，所述第一端口与设置在所述真空室侧壁外侧的外部引入接头对接，所述第二端口与设置在所述封盖外侧的外部引出接头对接，所述外部引出接头与转接管路的一端连接，所述转接管路的另一端与所述腔体连通。简化了维护流程，缩短了维护时间，减小了维护工作量，提高维护效率，降低了气路泄露风险，同时可以实现多路气体的并行引入。 | ||
| 搜索关键词： | 转接 真空室侧壁 变向 封盖 密封连接 引出接头 转接机构 真空室 引入 外部 维护 气体引入系统 本实用新型 腔体连通 一端连接 内侧壁 多路 减小 气路 工作量 并行 泄露 | ||
【主权项】：
1.一种真空室气体引入系统，其特征在于，包括真空室侧壁、封盖和转接机构，所述真空室侧壁围成腔体，所述封盖与所述真空室侧壁盖设适配，所述转接机构密封安装在所述真空室侧壁内侧；所述转接机构包括转接本体，所述转接本体内部设有变向通道，所述变向通道的第一端口与所述真空室侧壁密封连接，所述变向通道的第二端口与所述封盖的内侧壁密封连接，所述第一端口与设置在所述真空室侧壁外侧的外部引入接头对接，所述第二端口与设置在所述封盖外侧的外部引出接头对接，所述外部引出接头与转接管路的一端连接，所述转接管路的另一端与所述腔体连通。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东泰高科装备科技有限公司，未经东泰高科装备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920129470.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电气设备智能带电补气装置和系统
- 下一篇：燃气调压箱
