[实用新型]液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置有效
| 申请号： | 201920129768.7 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN209393671U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 王静轩;郭乃豪;叶亚云;廖威;张继花;蒋晓东;向霞 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 | 代理人： | 蔡冬彦 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，包括激光清洗模块和液流超声复合辅助模块。采用以上装置，在基于激光湿法清洗的基础上，引入超声振动与液流清洗，其中，所设计的超生振动台与光学元件直接接触，可以更加充分的利用超声资源，超声振动产生的热量起到清洗前预热的作用，能够消除或减小清洗过程中的残余应力，避免不必要的损伤，提升光学元件性能；同时超声振动与激光参数调谐，从而与液流中激光致声效应产生的声波达到共振，使清洗效果得到显著提升，液流减小了激光对光学元件可能造成的损伤，并避免了二次污染，由此实现了针对光学元件的高效、高质量清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 光学元件 液流 清洗 超声复合 超声振动 激光 辅助激光 减小 损伤 调谐 光学元件性能 本实用新型 声波 残余应力 二次污染 辅助模块 激光参数 激光清洗 清洗过程 清洗效果 湿法清洗 预热的 振动台 超声 共振 种液 引入 | ||
【主权项】：
1.一种液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置，其特征在于：包括激光清洗模块和液流超声复合辅助模块，所述液流超声复合辅助模块包括超声振动发生组件和水幕发生组件；所述超声振动发生组件包括能够固定光学元件(12)的超声振动台(10)以及用于使超声振动台(10)发生超声振动的超声波发生器(11)，所述水幕发生组件包括共同构成水路循环的水源储存箱(7)、水幕发生器(13)以及设置在水源储存箱(7)出水口和水幕发生器(13)进水口之间的水源净化器(14)，所述超声振动台(10)竖向安装在水幕发生器(13)上，且位于水幕发生器(13)水幕出水口的正下方，以使水幕(A)能够流经超声振动台(10)上的光学元件(12)；所述激光清洗模块包括激光器(1)，该激光器(1)激发的激光聚焦在水幕(A)以及光学元件(12)上。
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