[实用新型]一种硅片夹持机构

摘要

本实用新型公开了一种硅片夹持机构，包括驱动箱、中心转杆和顶块，驱动箱内设有中心转杆，驱动箱通过转轴转动连接有中心转杆，中心转杆的一端穿过驱动箱转动连接有顶块，顶块的四个侧边分别焊接有一个滑杆，四个滑杆分别套接有一个滑套，滑套的上侧均焊接有夹板，滑套的下侧均焊接有圆杆，本实用新型通过设置驱动齿轮、从动齿轮、一号驱动杆和二号驱动杆，单次可驱动中心转杆转动恒定角度，可同时缩短四个夹板与顶块之间的距离，可从硅片四个侧边将硅片夹紧，固定效果极好，方便了硅片的加工流程，且驱动齿轮螺丝固定在伺服电机的输出端，更换不同啮齿长度的驱动齿轮可改变夹持尺寸。

主权项

1.一种硅片夹持机构，包括驱动箱(1)、中心转杆(2)和顶块(3)，其特征在于，所述驱动箱(1)内设有中心转杆(2)，所述驱动箱(1)通过转轴转动连接有中心转杆(2)，所述中心转杆(2)的一端穿过驱动箱(1)转动连接有顶块(3)，所述顶块(3)的四个侧边分别焊接有一个滑杆(4)，四个所述滑杆(4)分别套接有一个滑套(5)，所述滑套(5)的上侧均焊接有夹板(6)，所述滑套(5)的下侧均焊接有圆杆(7)，所述驱动箱(1)内部螺丝固定有伺服电机(12)，所述伺服电机(12)的输出端螺丝固定有驱动齿轮(13)，所述中心转杆(2)位于驱动箱(1)内的部分套接有从动齿轮(14)，所述中心转杆(2)外侧且位于顶块(3)和驱动箱(1)之间套接有一号驱动杆(8)和二号驱动杆(10)，所述一号驱动杆(8)的两端分别转动连接有一个一号连杆(9)，所述二号驱动杆(10)的两端分别转动连接有一个二号连杆(11)，两个所述一号连杆(9)分别与两个圆杆(7)转动连接，两个所述二号连杆(11)分别与另外两个圆杆(7)转动连接。