[实用新型]一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟有效

专利信息
申请号: 201920151258.X 申请日: 2019-01-29
公开(公告)号: CN209906876U 公开(公告)日: 2020-01-07
发明(设计)人: 刘汝强;王殿春;孙蕾;赵旭荣;吴思华 申请(专利权)人: 山东国晶新材料有限公司
主分类号: C23C16/01 分类号: C23C16/01;C23C16/44;C23C16/34
代理公司: 37219 济南金迪知识产权代理有限公司 代理人: 陈桂玲
地址: 251200 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟,属于PBN舟生产设备技术领域,包括石墨盘、底座和用于约束舟模具的夹具,所述石墨盘固定于炉内的平面上,所述石墨盘为圆盘,所述石墨盘的中部设置有进气孔,所述石墨盘上均匀设置有多个第一孔洞,一个底座固定于一个第一孔洞内,所述底座上方螺纹连接所述夹具。本实用新型,可以保证整个装炉方式的稳定性,有效避免舟出现波浪状和开裂的情况。
搜索关键词: 石墨盘 底座 夹具 孔洞 本实用新型 装炉 热解氮化硼 均匀设置 螺纹连接 生产设备 波浪状 进气孔 炉内 模具 保证
【主权项】:
1.一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,包括石墨盘、底座和用于约束舟模具的夹具,所述石墨盘固定于炉内的平面上,所述石墨盘为圆盘,所述石墨盘的中部设置有进气孔,所述石墨盘上均匀设置有多个第一孔洞,一个底座固定于一个第一孔洞内,所述底座上方螺纹连接所述夹具。/n
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