[实用新型]一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟有效
申请号: | 201920151258.X | 申请日: | 2019-01-29 |
公开(公告)号: | CN209906876U | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 刘汝强;王殿春;孙蕾;赵旭荣;吴思华 | 申请(专利权)人: | 山东国晶新材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/01 | 分类号: | C23C16/01;C23C16/44;C23C16/34 |
代理公司: | 37219 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈桂玲 |
地址: | 251200 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟,属于PBN舟生产设备技术领域,包括石墨盘、底座和用于约束舟模具的夹具,所述石墨盘固定于炉内的平面上,所述石墨盘为圆盘,所述石墨盘的中部设置有进气孔,所述石墨盘上均匀设置有多个第一孔洞,一个底座固定于一个第一孔洞内,所述底座上方螺纹连接所述夹具。本实用新型,可以保证整个装炉方式的稳定性,有效避免舟出现波浪状和开裂的情况。 | ||
搜索关键词: | 石墨盘 底座 夹具 孔洞 本实用新型 装炉 热解氮化硼 均匀设置 螺纹连接 生产设备 波浪状 进气孔 炉内 模具 保证 | ||
【主权项】:
1.一种装炉方式稳定的热解氮化硼舟,其特征在于,包括石墨盘、底座和用于约束舟模具的夹具,所述石墨盘固定于炉内的平面上,所述石墨盘为圆盘,所述石墨盘的中部设置有进气孔,所述石墨盘上均匀设置有多个第一孔洞,一个底座固定于一个第一孔洞内,所述底座上方螺纹连接所述夹具。/n
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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