[实用新型]一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置有效
| 申请号： | 201920153888.0 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN209508025U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 宋大吉;朱守标;金剑锋 | 申请（专利权）人： | 杭州永通智造科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 龚玉平 |
| 地址： | 311400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜、蒸发箱、第二载气管路、混合气体管路、燃烧器、反应釜，气柜和燃烧器之间用至少一条第一载气管路相连，蒸发箱连接有原料气体管路，燃烧器和反应釜相连，反应釜内设有产品，第二载气管路上设有加热区，加热区内设有第一温度传感器，第二载气管路两端分别和气柜、原料气体管路相连，混合气体管路上设有第二温度传感器和第三温度传感器，混合气体管路的前端与第二载气管路和原料气体管路之间的混合连接处相连，混合气体管路的后端和燃烧器相连。本实用新型具有气体输送稳定不易液化，加热效果好，气体在燃烧器中反应的均匀性稳定性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 燃烧器 载气管路 混合气体管路 原料气体管路 反应釜 本实用新型 反应稳定性 控制装置 蒸发箱 气柜 芯棒 沉积 第二温度传感器 第一温度传感器 混合气体管 温度传感器 混合连接 加热效果 气体输送 加热区 均匀性 载气管 液化 加热 | ||
【主权项】：
1.一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置，包括气柜(1)、蒸发箱(2)、燃烧器(5)、反应釜(6)，气柜(1)和燃烧器(5)之间用至少一条第一载气管路(11)相连，所述蒸发箱(2)连接有原料气体管路(21)，所述燃烧器(5)和反应釜(6)相连，反应釜(6)内设有产品，其特征在于：还包括第二载气管路(3)和混合气体管路(4)，所述第二载气管路(3)上设有加热区(32)，加热区(32)内设有第一温度传感器(31)，所述第二载气管路(3)两端分别和气柜(1)、原料气体管路(21)相连，所述混合气体管路(4)上设有第二温度传感器(41)和第三温度传感器(42)，混合气体管路(4)的前端与第二载气管路(3)和原料气体管路(21)之间的混合连接处相连，混合气体管路(4)的后端和燃烧器(5)相连。
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