[实用新型]一种分体式工艺载板及应用其的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201920155272.7 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN209816267U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 么曼实;南建辉;管长乐 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 11613 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 齐胜杰 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种分体式工艺载板及应用其的真空镀膜装置。其中一种分体式工艺载板，包括石墨载板，石墨载板由多个石墨载板单元拼接构成；每两相邻的石墨载板单元的拼接处均设有相互匹配的拼接结构。拼接结构包括分别设置于相邻两所述石墨载板单元上的上阶梯形连接边和下阶梯形连接边；上阶梯形连接边和下阶梯形连接边叠加拼合后的厚度与所述相邻两个石墨载板单元的厚度相等。拼接结构还包括：多个石墨螺钉；多个石墨螺钉间隔设置于相邻两所述石墨载板单元的上阶梯形连接边、下阶梯形连接边上。本实用新型提供的分体式工艺载板在真空镀膜装置中具有不受水平传输轮的空间限制，能够很方便地实现垂直方向的位移。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨载板 阶梯形连接 拼接结构 分体式 载板 真空镀膜装置 本实用新型 石墨螺钉 真空镀膜设备 单元拼接 厚度相等 间隔设置 空间限制 水平传输 拼接处 拼合 叠加 匹配 应用 | ||
【主权项】：
1.一种分体式工艺载板，其特征在于，包括石墨载板，所述石墨载板由多个石墨载板单元拼接构成；/n每两相邻的石墨载板单元的拼接处均设有相互匹配的拼接结构。/n
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