[实用新型]一种水性蚀刻光阻剂用涂布机有效

专利信息
申请号: 201920155960.3 申请日: 2019-01-29
公开(公告)号: CN209433177U 公开(公告)日: 2019-09-24
发明(设计)人: 钟水英;何伟富;何伟豪 申请(专利权)人: 广州森川合成材料有限公司
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 511400 广东省广州*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型涉及涂布机技术领域,且公开了一种水性蚀刻光阻剂用涂布机,包括底座,所述底座上安装有光阻涂布机和输送带,所述输送带穿过光阻涂布机设置,所述输送带内固定连接有支撑板,所述支撑板的两侧对称开设有滑槽,所述滑槽内滑动连接有滑杆,所述滑杆远离滑槽槽底的一端穿过滑槽的槽口并向外延伸,且固定连接有“L”形的连接杆,两根所述连接杆的相向端均固定连接有定位板,所述定位板位于输送带的上方,所述支撑板的下方安装有锁紧机构。本实用新型使得基板的位置不会有偏差,保证了涂布的位置正确。
搜索关键词: 输送带 涂布机 支撑板 滑槽 蚀刻 本实用新型 光阻涂布机 定位板 光阻剂 连接杆 滑杆 底座 穿过 对称开设 滑动连接 锁紧机构 滑槽槽 内固定 相向端 槽口 基板 延伸 保证
【主权项】:
1.一种水性蚀刻光阻剂用涂布机,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上安装有光阻涂布机(2)和输送带(3),所述输送带(3)穿过光阻涂布机(2)设置,所述输送带(3)内固定连接有支撑板(4),所述支撑板(4)的两侧对称开设有滑槽(5),所述滑槽(5)内滑动连接有滑杆(6),所述滑杆(6)远离滑槽(5)槽底的一端穿过滑槽(5)的槽口并向外延伸,且固定连接有“L”形的连接杆(7),两根所述连接杆(7)的相向端均固定连接有定位板(8),所述定位板(8)位于输送带(3)的上方,所述支撑板(4)的下方安装有锁紧机构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州森川合成材料有限公司,未经广州森川合成材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920155960.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top