[实用新型]一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器有效
| 申请号： | 201920172967.6 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN209513108U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 周志明;邢利阳 | 申请（专利权）人： | 南京容宇仪器仪表有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211162 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器。所述传感器由测压端口、芯片、膜片、信号处理电路板、电连接组件，所述芯片与所述信号处理电路板键合连接，其特征在于，所述膜片为陶瓷膜片，所述芯片与所述陶瓷膜片通过玻璃微熔工艺连接；所述玻璃微熔工艺为所述芯片通过玻璃胶烧结于所述陶瓷膜片上；所述陶瓷膜片固定于金属基座上；所述测压端口与被测端口密封连接；所述信号处理电路板为柔性电路板或硬质电路板。所述传感器具有如下优点：①采用玻璃微熔工艺的压力传感器，具有整体精度高，稳定好等优点；②采用陶瓷膜片，形变量较大，可以提高传感器在低压时的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷膜片 微熔 信号处理电路板 压力传感器 传感器 芯片 陶瓷玻璃 玻璃 测压 膜片 本实用新型 电连接组件 柔性电路板 硬质电路板 端口密封 工艺连接 键合连接 金属基座 烧结 玻璃胶 形变量 | ||
【主权项】：
1.一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器，所述传感器由测压端口(1)、芯片(2)、膜片(3)、信号处理电路板(4)、电连接组件(5)，所述芯片(2)与所述信号处理电路板(4)键合连接，其特征在于，所述膜片(3)为陶瓷膜片(6)，所述芯片(2)与所述陶瓷膜片(6)通过玻璃微熔工艺连接。
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