[实用新型]一种用于溅射靶材的加工设备有效

专利信息
申请号: 201920173201.X 申请日: 2019-01-31
公开(公告)号: CN209533114U 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: 温艳玲;惠知;张学智;葛小光 申请(专利权)人: 河北冠靶科技有限公司
主分类号: B24C1/08 分类号: B24C1/08;B24C3/02;B24C3/32;B24C9/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 052300 河北省石家*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型涉及一种用于溅射靶材的加工设备,属于溅射靶材加工设备技术领域,解决了现有技术中采用人工的方法对备管表面进行喷砂的技术问题,包括底座、两个支撑板、两个驱动转轴、驱动机构、设置在两个驱动转轴之间的安装机构、喷砂机构,安装机构包括两个安装模具,安装模具包括用于安装备管的转动轴、设置在转动轴和驱动转轴之间的连接组件、套设在转动轴外周面的第一张紧弧板和第二张紧弧板、第一调节组件、第二调节组件,第一张紧弧板、第二张紧弧板的弯曲方向均指向转动轴。该用于溅射靶材的加工设备,增加了备管表面的粗糙度并形成溅射靶材,降低了操作人员的劳动强度,提高了产品的生产效率和质量,进而提高了加工设备的实用性。
搜索关键词: 加工设备 溅射靶材 转动轴 弧板 张紧 驱动转轴 安装机构 安装模具 调节组件 管表面 本实用新型 连接组件 喷砂机构 驱动机构 生产效率 弯曲方向 粗糙度 人工的 支撑板 喷砂 外周 底座 指向
【主权项】:
1.一种用于溅射靶材的加工设备,其特征在于:包括沿水平方向的底座(1)、两个平行且间隔固设在底座(1)顶面的支撑板(11)、转动连接在支撑板(11)上且与两个支撑板(11)一一对应的两个驱动转轴(2)、用于使驱动转轴(2)转动的驱动机构(3)、设置在两个驱动转轴(2)之间且用于安装备管的安装机构、设置在两个支撑板(11)之间且用于将沙粒喷射到备管外表面形成溅射靶材的喷砂机构(5),所述驱动转轴(2)沿水平方向设置,两个所述驱动转轴(2)的轴线重合,且两个所述驱动转轴(2)沿其轴线方向间隔设置,所述安装机构包括两个用于安装备管且和两个驱动转轴(2)一一对应的安装模具(4),所述安装模具(4)包括用于安装备管且与驱动转轴(2)的轴线重合的转动轴(41)、设置在转动轴(41)和驱动转轴(2)之间且实现两者可拆卸连接的连接组件(42)、套设在转动轴(41)外周面且用于卡紧备管的第一张紧弧板(43)和第二张紧弧板(44)、设置在第一张紧弧板(43)和转动轴(41)之间且用于调节两者之间距离的第一调节组件(45)、设置在第二张紧弧板(44)和转动轴(41)之间且用于调节两者之间距离的第二调节组件(46),所述第一张紧弧板(43)的轴线、第二张紧弧板(44)的轴线、转动轴(41)的轴线平行,所述第一张紧弧板(43)、第二张紧弧板(44)的弯曲方向均指向转动轴(41)。
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