[实用新型]MEMS操纵装置有效
| 申请号： | 201920186315.8 | 申请日： | 2019-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN210150712U | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | D·朱斯蒂;L·滕托里 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及MEMS操纵装置。MEMS操纵装置具有承载相应的相互面对的夹持元件的第一操纵臂和第二操纵臂。至少第一操纵臂由驱动臂和通过铰接结构被铰链连接在一起的铰接臂形成。第一驱动臂包括第一梁元件和在第一梁元件上的第一压电区域。第一铰接结构包括在厚度方向上不可变形的第一连接元件以及被插入在第一驱动臂、第一铰接臂和第一连接元件之间的第一铰链结构。 | ||
| 搜索关键词： | mems 操纵 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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