[实用新型]一种排气管路及制程设备有效
| 申请号： | 201920204577.2 | 申请日： | 2019-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN209935442U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 朱小凡;陈章晏;张文福;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;H01J37/32 |
| 代理公司： | 31295 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种排气管路及制程设备，该排气管路包括排气管和清洗组件；所述排气管的进气口用于与制程单元的出气口相连通；所述清洗组件设置于所述排气管内，并位于所述排气管靠近所述制程单元的一端；所述清洗组件用于对所述排气管的内壁进行清洗。本实用新型能够有效消除排气管内部的结晶状况，保证排气管内不会有化学品残留，有效延长了排气管的使用寿命，减少了排气管的维护时间，进而可以有效降低生产成本。该制程设备包括上述的排气管路，由于排气管内部不易堵塞，由此可以大大改善制程设备的内部环境。 | ||
| 搜索关键词： | 排气管 排气管路 清洗组件 制程设备 本实用新型 制程 进气口 结晶状况 内部环境 使用寿命 出气口 化学品 内壁 清洗 残留 堵塞 保证 维护 | ||
【主权项】：
1.一种排气管路，其特征在于，包括排气管和清洗组件；/n所述排气管的进气口用于与制程单元的出气口相连通；/n所述清洗组件设置于所述排气管内，并位于所述排气管靠近所述制程单元的一端；/n所述清洗组件用于对所述排气管的内壁进行清洗。/n
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