[实用新型]一种电子芯片生产车间用废气处理装置

摘要

本实用新型涉及废气处理附属装置的技术领域，特别是涉及一种电子芯片生产车间用废气处理装置，其可以对废气收集罩的高度和角度进行调节，从而可以根据实际操作情况而对废气进行收集，提高对废气的收集效果，提高使用可靠性；并且提高对废气的处理效果，提高实用性；包括箱体，箱体的内部设置有工作腔内，并在工作腔内多组过滤网和多组UV光解灯，还包括排气风机、排气管、废气收集罩、操作台、左支板、右支板、顶板、两组螺纹管、两组螺纹杆、安装板、两组连接杆、调节螺杆和滚珠轴承，安装板的顶端中部设置有前后方向的条形孔，并在条形孔内设置有滑块，还包括底座、喷淋箱、喷淋泵、进气风机、连通风管、吸收液和喷淋装置。

主权项

1.一种电子芯片生产车间用废气处理装置，包括箱体(1)，箱体(1)的内部设置有工作腔内，并在工作腔内多组过滤网(2)和多组UV光解灯(3)，多组UV光解灯(3)与多组过滤网(2)间隔设置，箱体(1)的右端设置有排气口，并在排气口处设置有排气风机(4)，排气风机(4)的输出端设置有排气管(5)；其特征在于，还包括废气收集罩(6)、操作台(7)、左支板(8)、右支板(9)、顶板(10)、两组螺纹管(11)、两组螺纹杆(12)、安装板(13)、两组连接杆(14)和调节螺杆(15)，所述左支板(8)和右支板(9)的底端分别与操作台(7)顶端的左侧和右侧连接，左支板(8)和右支板(9)的底端分别与顶板(10)底端的左侧和右侧连接，所述顶板(10)的左端和右端均设置有上下贯通的安装通孔，并在两组安装通孔内均固定安装有滚珠轴承(16)，所述两组螺纹管(11)的底端自顶板(10)的顶端分别穿过两组滚珠轴承(16)至顶板(10)的下方，所述两组螺纹杆(12)的底端分别与安装板(13)顶端的左侧和右侧连接，两组螺纹杆(12)的顶端分别插入并螺装至两组螺纹管(11)的底端内部，所述两组连接杆(14)的顶端分别与安装板(13)底端的左前侧和右前侧固定连接，两组连接杆(14)的底端分别与废气收集罩(6)的左端前侧和右端前侧可转动连接，安装板(13)的顶端中部设置有前后方向的条形孔(17)，并在条形孔(17)内设置有滑块(18)，所述滑块(18)可沿条形孔(17)前后滑动，并在滑块(18)的中部设置有上下贯通的调节螺孔，所述调节螺杆(15)的底端自滑块(18)的顶端螺装穿过调节螺孔至安装板(13)的下方并与废气收集罩(6)的顶端后侧球铰连接；还包括底座(19)、喷淋箱(20)、喷淋泵(21)、进气风机(22)和连通风管(23)，所述喷淋箱(20)和箱体(1)均安装于底座(19)的顶端，并在喷淋箱(20)的内部设置有放置腔，放置腔的底部装有吸收液(24)，放置腔的顶部设置有喷淋装置(25)，所述喷淋泵(21)的输入端自喷淋箱(20)的右端底部伸入至放置腔内并渗入吸收液(24)中，喷淋泵(21)的输出端自喷淋箱(20)的右端顶部伸入至放置腔内并与喷淋装置(25)的输入端连通，所述连通风管(23)的一端自喷淋箱(20)的顶端伸入至放置腔内，连通风管(23)的另一端自箱体(1)的左端伸入至工作腔内，所述进气风机(22)安装于喷淋箱(20)的左端，进气风机(22)的输入端与废气收集罩(6)连通，进气风机(22)的输出端自喷淋箱(20)的左端伸入至放置腔内并伸入至吸收液(24)中。/n