[实用新型]一种直写光刻机图形发生器的FPGA填充装置有效
| 申请号： | 201920206309.4 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN209543347U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 薛荣 | 申请（专利权）人： | 麦佧仕光电科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 丁国勇 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直写光刻机图形发生器的FPGA填充装置，属于光刻机技术领域，其技术方案要点是，包括FPGA可编程器件和通信引脚，所述FPGA可编程器件为矩形板，所述FPGA可编程器件的外表面周侧设有所述通信引脚，所述通信引脚与所述FPGA可编程器件固定连接；在FPGA可编程器件的上表面设有编程单元安装板，编程单元安装板与FPGA可编程器件固定连接，编程单元安装板数量为多个，且编程单元安装板与FPGA可编程器件之间倾斜设置，通过在FPGA可编程器件的上表面设置若干倾斜设置的编程单元安装板，将安装区域立体化，在单位面积内，可以写入编程单元的面积更大，因此可在同样面积内，同样精度下，写入更多的编程单元。 | ||
| 搜索关键词： | 可编程器件 编程单元 安装板 通信引脚 图形发生器 直写光刻机 倾斜设置 填充装置 上表面 写入 技术方案要点 本实用新型 安装区域 光刻机 矩形板 | ||
【主权项】：
1.一种直写光刻机图形发生器的FPGA填充装置，包括FPGA可编程器件(1)和通信引脚(2)，其特征在于：所述FPGA可编程器件(1)为矩形板，所述FPGA可编程器件(1)的外表面周侧设有所述通信引脚(2)，所述通信引脚(2)与所述FPGA可编程器件(1)固定连接，所述FPGA可编程器件(1)的上表面设有编程单元安装板(3)，所述编程单元安装板(3)与所述FPGA可编程器件(1)固定连接，且所述编程单元安装板(3)与所述FPGA可编程器件(1)之间倾斜设置，所述编程单元安装板(3)数量为多个，且多个所述编程单元安装板(3)均匀分布在所述FPGA可编程器件(1)上，所述FPGA可编程器件(1)上还开设有安装孔(4)，所述安装孔(4)贯穿所述FPGA可编程器件(1)。
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