[实用新型]一种电子束扫描测量仪用晶圆定位装置

摘要

本实用新型公开了一种电子束扫描测量仪用晶圆定位装置，涉及半导体技术领域，该晶圆定位装置将传统的对射式光电传感器更换为对射式光纤传感器或反射式光纤传感器，使得能够实现对透明晶圆、半透明晶圆和不透明晶圆的有效定位，将适用范围扩展到各种透明度的晶圆；同时通过设置多个传感器组，实现对多种尺寸的晶圆的定位，支持主流的3、4、6、8寸；另外增加了独立传感器信号处理器对传感器输出信号进行放大和滤波，再增加了独立的主控板对传感器输出信号进行调制，使得该装置可以适配各种型号的现有机台，在不同实用机台型号中都能实现有效定位，应用方便、更换成本低、多机型兼容、标准统一。

主权项

1.一种电子束扫描测量仪用晶圆定位装置，其特征在于，所述晶圆定位装置包括：主控板、传感器信号处理器和传感器组，所述主控板包括主控器、机台通讯接口、传感器接口电路、晶圆尺寸选择拨码开关和机型选择拨码开关，所述主控器分别连接所述机台通讯接口、传感器接口电路、晶圆尺寸选择拨码开关和机型选择拨码开关，所述主控板通过所述机台通讯接口与电子束扫描测量仪中的机台建立通讯连接，所述主控板通过所述传感器接口电路与所述传感器信号处理器建立连接，所述传感器信号处理器连接所述传感器组，所述传感器组中包括六个传感器，所述六个传感器位于同一个虚拟圆的圆周上，所述虚拟圆对应一种晶圆尺寸，所述传感器组中的各个传感器分别连接所述传感器信号处理器；所述传感器组中的各个传感器为对射式光纤传感器，则对射式光纤传感器的发光管和接收管对向设置并分别位于待定位的晶圆两侧，或者，所述传感器组中的各个传感器为反射式光纤传感器，则反射式光纤传感器的发光管和接收管位于待定位的晶圆的同一侧。