[实用新型]一种光阻剥离液废液回收配液装置有效
| 申请号： | 201920220713.7 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN209652205U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;吴鹏珍;田丹女 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C07C315/06 | 分类号： | C07C315/06;C07C317/04;C07C213/10;C07C215/08 |
| 代理公司： | 32276 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 项丽<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光阻剥离液废液回收配液装置，它包括：剥离液收集罐，蒸发器，所述蒸发器通过第一循环泵与所述剥离液收集罐相连通；废液排出机构，所述废液排出机构与所述蒸发器底部相连通以用于承接其内的浓缩液；脱水塔，所述脱水塔与所述蒸发器顶部相连通，用于除去馏分中的水份；冷却机构，所述冷却机构与所述脱水塔相连接，用于冷却馏分；树脂吸收组件；成品配制组件。这样能够有效将光阻剥离液废液中二甲基亚砜、乙醇胺蒸出并经除水、冷却后储存，对应配置后可直接使用，有利于降低成本并提高剥离液的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发器 剥离液 脱水塔 废液 光阻剥离液 冷却机构 排出机构 收集罐 冷却 本实用新型 二甲基亚砜 废液回收 配液装置 使用效率 树脂吸收 浓缩液 循环泵 乙醇胺 除水 水份 配制 承接 储存 配置 | ||
【主权项】：
1.一种光阻剥离液废液回收配液装置，其特征在于，它包括：/n剥离液收集罐（1），/n蒸发器（3），所述蒸发器（3）通过第一循环泵（31）与所述剥离液收集罐（1）相连通；/n废液排出机构（4），所述废液排出机构（4）与所述蒸发器（3）底部相连通以用于承接其内的浓缩液；/n脱水塔（5），所述脱水塔（5）与所述蒸发器（3）顶部相连通，用于除去馏分中的水份；/n冷却机构（6），所述冷却机构（6）与所述脱水塔（5）相连接，用于冷却馏分；/n树脂吸收组件（7），所述树脂吸收组件（7）通过提升泵（73）与所述冷却机构（6）相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子；/n成品配制组件（8），所述成品配制组件（8）包括与所述树脂吸收组件（7）相连通的混配罐（81）。/n
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