[实用新型]一种霍尔元件有效
| 申请号： | 201920224166.X | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN209389068U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 刘洪刚;孙兵;常虎东 | 申请（专利权）人： | 苏州闻颂智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/04 | 分类号： | H01L43/04;H01L43/10;H01L43/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种霍尔元件，包括依次层叠设置的半绝缘衬底层、缓冲层、功能层和金属电极层，该霍尔元件还包括沿着远离功能层的方向依次叠设于功能层上的钝化层和保护层，金属电极层沿着远离功能层的方向延伸并依次穿过钝化层和保护层。本实用新型的一种霍尔元件，通过采用铟铝镓磷钝化层与功能层形成高质量的异质外延界面，可以有效钝化功能层表面，提高了钝化效果；同时通过二氧化硅层和氮化硅层的叠层结构，形成保护层，可以有效减小霍尔元件的表面应力。 | ||
| 搜索关键词： | 霍尔元件 功能层 保护层 钝化层 本实用新型 金属电极层 异质外延界面 二氧化硅层 功能层表面 表面应力 氮化硅层 叠层结构 钝化效果 方向延伸 依次层叠 有效钝化 半绝缘 衬底层 缓冲层 铟铝镓 叠设 减小 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种霍尔元件，包括依次层叠设置的半绝缘衬底层（1）、缓冲层（2）、功能层（3）和金属电极层（4），其特征在于：所述霍尔元件还包括沿着远离所述功能层（3）的方向依次叠设于所述功能层（3）上的钝化层（5）和保护层（6），所述金属电极层（4）沿着远离所述功能层（3）的方向延伸并依次穿过所述钝化层（5）和所述保护层（6）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州闻颂智能科技有限公司，未经苏州闻颂智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920224166.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种滤波器的晶圆级封装结构
- 下一篇：一种纽扣型电池
