[实用新型]石英坩埚气泡空乏层测厚仪

摘要

本实用新型公开了一种石英坩埚气泡空乏层测厚仪，其包括检测底座和电视显微镜；检测底座包括两个竖直设置的支架，在两个支架顶部之间固定设有显微镜固定板，在显微镜固定板上设有电视显微镜，电视显微镜的物镜置于显微镜固定板下方的两个支架之间；在物镜的镜头侧壁上设有与电视显微镜的光轴平行设置的镜头同步杆，在物镜镜片下方的镜头同步杆端头设有与电视显微镜的光轴垂直的基准杆；基准杆的顶端置于电视显微镜的视野内；在基准杆的底面上设有微动开关。优点在于：在不破坏石英坩埚的结构的同时，快速检测测量石英坩埚气泡空乏层厚度；检测成本低，速度快，保证生产效率；可以对每个石英坩埚进行检测，检测结果快速准确。

主权项

1.石英坩埚气泡空乏层测厚仪，其特征在于，其包括检测底座和电视显微镜；所述检测底座包括两个竖直设置的支架，在两个所述支架顶部之间固定设有显微镜固定板，在所述显微镜固定板上设有所述电视显微镜，所述电视显微镜的物镜置于所述显微镜固定板下方的两个所述支架之间；在所述物镜的镜头侧壁上设有与所述电视显微镜的光轴平行设置的镜头同步杆，在所述物镜镜片下方的所述镜头同步杆端头设有与所述电视显微镜的光轴垂直的基准杆；所述基准杆的顶端置于所述电视显微镜的视野内；在所述基准杆的底面上设有微动开关。