[实用新型]应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置

摘要

本实用新型公开了一种应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置，包括水平设置在烧结窑内支架上的支撑座，所述支撑座的上端面倾斜设置，倾斜设置的支撑座上端面上放置有用于承载ITO靶材坯体的承烧板，承烧板的上端面上匀布有若干条贯穿承烧板前后、用于流过氧气气流的沟槽；位于较低端的支撑座倾斜上端面端部设置有承托承烧板和ITO靶材坯体的挡块。本实用新型可使氧气通过水平设置的沟槽与靶材坯体接触，提高了透氧率；同时倾斜设置承烧板可将靶材坯体的重力在水平方向上实现分解，降低了坯体与承烧板之间的摩擦力，有利于靶材坯体的收缩，减少了烧结时间，提高了靶材坯体的烧结成品率以及烧结密度。

主权项

1.应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置，其特征在于：包括水平设置在烧结窑内支架(6)上的支撑座(2)，所述支撑座的上端面倾斜设置，倾斜设置的支撑座上端面上放置有用于承载ITO靶材坯体的承烧板(3)，承烧板的上端面上匀布有若干条贯穿承烧板前后、用于流过氧气气流的沟槽(31)；位于较低端的支撑座倾斜上端面端部设置有承托承烧板和ITO靶材坯体(4)的挡块(5)。