[实用新型]一种多腔室等离子刻蚀机有效
| 申请号： | 201920234290.4 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN209675236U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 马立;蒋秀林;汤海洋 | 申请（专利权）人： | 晶澳(扬州)太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/18;H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 44104 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李海波<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 225131 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多腔室等离子刻蚀机，包括腔室、真空装置和刻蚀装置，还包括水平传输装置，所述的水平传输装置位于所述腔室的底面，并延伸至所述腔室两侧；所述腔室的两侧面设有腔室门，所述的腔室通过隔门分隔成依次排列的进料缓冲腔、工艺腔和出料缓冲腔，所述的进料缓冲腔、工艺腔和出料缓冲腔分别安装有所述的真空装置；所述的工艺腔中设有工位，所述工位上安装所述的刻蚀装置。这种新型多腔室等离子刻蚀机可省去在刻蚀工艺中需要反复手动操作的过程，有效提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 腔室 工艺腔 等离子刻蚀机 水平传输装置 进料缓冲腔 刻蚀装置 真空装置 多腔室 缓冲腔 出料 工位 本实用新型 刻蚀工艺 生产效率 依次排列 两侧面 腔室门 底面 分隔 隔门 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种多腔室等离子刻蚀机，包括腔室、真空装置和刻蚀装置，其特征在于，还包括水平传输装置，所述的水平传输装置位于所述腔室的底面，并延伸至所述腔室两侧；/n所述腔室的两侧面设有腔室门，所述的腔室通过隔门分隔成依次排列的进料缓冲腔、工艺腔和出料缓冲腔，所述的进料缓冲腔、工艺腔和出料缓冲腔分别安装有所述的真空装置；所述的工艺腔中设有工位，所述工位上安装所述的刻蚀装置。/n
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