[实用新型]一种弧形工件激光直接曝光设备有效
申请号: | 201920236499.4 | 申请日: | 2019-02-25 |
公开(公告)号: | CN209265177U | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 陈国军;宁震坤;吴景舟;马迪 | 申请(专利权)人: | 钧迪智能装备科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人: | 李宏伟 |
地址: | 215100 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种弧形工件激光直接曝光设备,包括机架和曝光组件,机架上摆动安装有工件吸附组件,该工件吸附组件由摆动装置驱动,该工件吸附组件的吸附面为圆柱面,吸附面上设置有吸附孔且与负压装置连通;曝光组件包括固定于机架上的底座,底座上沿水平X轴方向滑动安装有X滑座,该X滑座由X动力装置驱动,X滑座上沿水平Y轴方向滑动安装有Y滑座,该Y滑座由Y动力装置驱动,Y滑座上安装有DMD曝光镜头,该DMD曝光镜头水平设置且处于圆柱面的水平半径上,DMD曝光镜头朝向吸附面,水平X轴方向与圆柱面的中心轴平行,水平Y轴与DMD曝光镜头所在水平半径平行。该曝光设备可以对工件的圆弧形的内表面进行曝光。 | ||
搜索关键词: | 滑座 曝光镜头 工件吸附 曝光设备 动力装置驱动 弧形工件 滑动安装 曝光组件 水平X轴 吸附面 底座 平行 激光 本实用新型 摆动装置 负压装置 水平设置 内表面 吸附孔 圆弧形 圆柱面 中心轴 摆动 吸附 连通 驱动 曝光 | ||
【主权项】:
1.一种弧形工件激光直接曝光设备,包括机架,所述机架上设置有曝光组件,其特征在于:所述机架上摆动安装有圆弧形的工件吸附组件,该工件吸附组件由摆动装置驱动由上料工位摆动至曝光完成工位,该工件吸附组件的吸附面为圆柱面且工件吸附组件的摆动中心与圆柱面的中心轴重合,所述吸附面上设置有吸附孔,该吸附孔与负压装置连通;所述曝光组件包括固定于机架上的底座,所述底座上沿水平X轴方向滑动安装有X滑座,该X滑座由X动力装置驱动,所述X滑座上沿水平Y轴方向滑动安装有Y滑座,该Y滑座由Y动力装置驱动,所述Y滑座上安装有DMD曝光镜头,该DMD曝光镜头水平设置且处于圆柱面的水平半径上,DMD曝光镜头朝向吸附面,所述水平X轴方向与圆柱面的中心轴平行,所述水平Y轴与DMD曝光镜头所在水平半径平行。
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