[实用新型]一种影像传感器测试机台有效
| 申请号： | 201920238267.2 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN209945986U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 高寒;周杰;田茂 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 31295 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种影像传感器测试机台，用于测试晶圆，包括：测试头，其上可转动地设置有盖板，所述盖板用于盖合所述测试头的一表面；光源，设置在所述测试头的一侧，且所述光源包括镜筒；以及驱动臂，设置在所述光源的一侧并与所述光源连接；其中，所述驱动臂被配置为，当所述盖板盖合所述测试头的所述表面时，带动所述光源靠近所述测试头，使所述镜筒穿过所述盖板伸入到所述测试头中，并将所述光源固定；所述驱动臂还被配置为，驱动所述光源远离所述测试头，使所述镜筒脱离所述盖板而使盖板能够被开启。通过驱动臂带动光源运动，使其靠近或远离测试头，方便光源的拆卸，完成板卡的更换，有效提高板卡更换的速度，进而提高晶圆测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试头 光源 盖板 驱动臂 镜筒 板卡 本实用新型 影像传感器 测试机台 测试晶圆 光源固定 光源远离 光源运动 晶圆测试 盖板盖 可转动 盖合 配置 伸入 拆卸 穿过 驱动 脱离 | ||
【主权项】：
1.一种影像传感器测试机台，用于测试晶圆，其特征在于，包括：/n测试头，其上可转动地设置有盖板，所述盖板用于盖合所述测试头的一表面；/n光源，设置在所述测试头的一侧，且所述光源包括镜筒；以及/n驱动臂，设置在所述光源的一侧并与所述光源连接；/n其中，所述驱动臂被配置为，当所述盖板盖合所述测试头的所述表面时，带动所述光源靠近所述测试头，以使所述镜筒穿过所述盖板伸入到所述测试头中，并将所述光源固定；所述驱动臂还被配置为，驱动所述光源远离所述测试头，使所述镜筒脱离所述盖板而使盖板能够被开启。/n
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