[实用新型]加工基板的搬送装置有效

专利信息
申请号: 201920239682.X 申请日: 2019-02-25
公开(公告)号: CN210081362U 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 白井明 申请(专利权)人: 白井科技股份有限公司
主分类号: B24B9/10 分类号: B24B9/10;B24B41/06;B24B41/00;B28D7/00;B28D7/04
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 孙皓晨;李林
地址: 日本国大阪府东*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实用新型提供加工基板的搬送装置,可在不使基板表面脏污或受损下进行搬送。本实用新型的解决机构为一种加工基板的搬送装置,包括:包括并列棒材2的第一平台B;棒材2上的基板A的吸取保持机构D;在第一平台B与其前方间以进退移动机构F移动的移动体G;嵌入于移动体G上侧的第一平台B的棒材2间且并列的接受移载棒材20;以移动体G的升降机构I升降且使接受移载棒材20进退滑动的进退移动体H;接受移载棒材20上的基板A的吸取保持机构D;以及第二平台J,前述第二平台J以在移动体G前方嵌入接受移载棒材20且并列的接受棒材21、在接受棒材21间吸取基板A下面中央部分的吸取垫42、设置于接受棒材21的基板A浮起用的空气喷出孔41及使吸取垫42旋转90°的旋转机构43。
搜索关键词: 加工 装置
【主权项】:
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