[实用新型]升降承载装置及曝光机有效
| 申请号： | 201920244282.8 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN209928213U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 程亮 | 申请（专利权）人： | 广东思沃精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于曝光设备技术领域，尤其涉及一种升降承载装置及曝光机，升降承载装置包括第一架体、升降机构和第二架体，升降机构包括至少一个驱动组件，各驱动组件的驱动端均安装于第一架体上并用于驱动第一架体朝向第二架体运动，升降机构还包括至少一个导向柱和至少一个导向套筒，各导向柱的第一端均安装于第二架体，第一架体上开设有至少一个配合孔，各导向套筒均安装于第二架体上并分别正对各配合孔设置，导向柱的第二端依序穿过导向套筒和配合孔。第一架体在朝向第二架体运动的过程中便能够受到导向柱和导向套筒的导向作用，而使其运动轨迹更为精确，消除了第一架体相对于第二架体运动时产生的位置偏差，保证待曝光产品和曝光件的准确对焦。 | ||
| 搜索关键词： | 架体 导向套筒 导向柱 升降机构 配合孔 承载装置 驱动组件 升降 本实用新型 导向作用 曝光产品 曝光设备 位置偏差 运动轨迹 准确对焦 第一端 曝光机 驱动端 正对 穿过 曝光 驱动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种升降承载装置，其特征在于：包括第一架体、升降机构和第二架体，所述升降机构包括至少一个驱动组件，各所述驱动组件的驱动端均安装于所述第一架体上并用于驱动所述第一架体朝向所述第二架体运动，所述升降机构还包括至少一个导向柱和至少一个导向套筒，各所述导向柱的第一端均安装于所述第二架体，所述第一架体上开设有至少一个配合孔，各所述导向套筒均安装于所述第二架体上并分别正对各所述配合孔设置，所述导向柱的第二端依序穿过对应的所述导向套筒和对应的所述配合孔。/n
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