[实用新型]一种硅片旋转装置有效

专利信息
申请号: 201920255444.8 申请日: 2019-02-28
公开(公告)号: CN209298151U 公开(公告)日: 2019-08-23
发明(设计)人: 杨张烽;李书坤;王志宝;乔勇 申请(专利权)人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 215129 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型属于太阳能电池技术领域,公开了一种硅片旋转装置。其包括固定座、升降架、旋转驱动件、吸附组件、接近传感器及控制装置,其中,升降架竖向滑动连接于固定座;旋转驱动件连接于升降架且输出端朝下设置;吸附组件连接于旋转驱动件的输出端;接近传感器连接于升降架,接近传感器的底面高度略高于吸附组件的底面高度;控制装置分别与接近传感器、吸附组件及旋转驱动件电连接。在使用时,吸附组件下降吸附硅片,带动硅片抬起,通过旋转驱动机构驱动吸附组件旋转90°,使硅片线痕方向与下一步工序的印刷方向平行;旋转完成后将硅片放置于流水线上。经旋转后的硅片在印刷时,印刷方向与线痕方向平行,降低了断栅现象的产生,降低生产成本。
搜索关键词: 吸附组件 接近传感器 旋转驱动件 升降架 硅片 硅片旋转装置 控制装置 印刷方向 固定座 输出端 底面 线痕 太阳能电池技术 旋转驱动机构 本实用新型 朝下设置 方向平行 硅片放置 竖向滑动 一步工序 电连接 抬起 吸附 流水线 平行 驱动 印刷
【主权项】:
1.一种硅片旋转装置,其特征在于,包括:固定座(1);升降架(2),沿竖向滑动连接于所述固定座(1);旋转驱动件(3),连接于所述升降架(2)且输出端朝下设置;吸附组件(4),连接于所述旋转驱动件(3)的输出端;及接近传感器(5),连接于所述升降架(2),所述接近传感器(5)的底面高度略高于所述吸附组件(4)的底面高度;控制装置,分别与所述接近传感器(5)、所述吸附组件(4)及所述旋转驱动件(3)电连接。
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