[实用新型]一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置有效
| 申请号： | 201920268105.3 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN209998925U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 杨杰鑫;陈建铭;杨静敏 | 申请（专利权）人： | 深圳市杰盛微半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B55/06;B24B29/06;B24B55/00 |
| 代理公司： | 44477 深圳市汇信知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵英杰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，包括：箱体；支撑装置，所述支撑装置固定于所述箱体内壁的两侧之间；调节装置，所述调节装置固定于所述箱体内壁的顶部；水箱，所述水箱固定于所述箱体一侧的底部；抽水机，所述抽水机固定于所述水箱的一侧；进水管，所述进水管连通于所述抽水机的进水口与水箱的一侧之间；本实用新型涉及硅晶片抛光技术领域。该可提升调节精度的硅晶片抛光装置可以对抛光盘与硅晶片之间的距离进行调节，更好更精确的在硅晶片抛光过程中进行调节，提升了调节的精度，快速方便的对硅晶片进行抛光，提高了硅晶片抛光的效率，可以对抛光产生的废屑进行快速方便的清理。 | ||
| 搜索关键词： | 硅晶片 水箱 抽水机 抛光 本实用新型 调节装置 抛光装置 箱体内壁 支撑装置 进水管 抛光技术领域 抛光过程 进水口 抛光盘 废屑 连通 | ||
【主权项】：
1.一种可提升调节精度的硅晶片抛光装置，其特征在于，包括：/n箱体；/n支撑装置，所述支撑装置固定于所述箱体内壁的两侧之间；/n调节装置，所述调节装置固定于所述箱体内壁的顶部；/n水箱，所述水箱固定于所述箱体一侧的底部；/n抽水机，所述抽水机固定于所述水箱的一侧；/n进水管，所述进水管连通于所述抽水机的进水口与水箱的一侧之间；/n出水管，所述出水管连通于所述抽水机的出水口。/n
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