[实用新型]一种滚轮装置及水膜机刻蚀系统有效
| 申请号： | 201920272384.0 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN209298152U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 金同 | 申请（专利权）人： | 浙江正泰太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11653 | 代理人： | 李非非;杨兴宇 |
| 地址： | 310053 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本实用新型实施例提供了一种滚轮装置，所述滚轮装置包括M个滚轮本体、卡槽和垫片，所述M个滚轮本体平行且等间距的排列在同一平面上；所述M个滚轮本体均通过齿轮连接外部电机；在第N个滚轮本体的下方设置有卡槽，其中，1 | ||
| 搜索关键词： | 滚轮本体 滚轮装置 本实用新型 待加工零件 抖动 垫片 卡槽 水膜 机刻 齿轮连接 外部电机 向上移动 刻蚀槽 喷水量 平行 | ||
【主权项】：
1.一种滚轮装置，其特征在于，所述滚轮装置包括M个滚轮本体、卡槽和垫片，所述M个滚轮本体平行且等间距的排列在同一平面上；所述M个滚轮本体均通过齿轮连接外部电机；在第N个滚轮本体的下方设置有卡槽，其中，1<N<M；所述卡槽中设置有垫片，所述垫片将所述第N个滚轮本体整体向上移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
